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產(chǎn)品中心

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Local Scrubber

Local Scrubber

應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體、光電光伏、太陽(yáng)能

應(yīng)用工藝：Etching、Thin Film、Diffusion


設(shè)備功能：

通過(guò)高溫等離子電弧裂解，配合水洗模式凈化有毒有害氣體。

可處理PFCs、硅化合物、可燃性氣體、水溶性氣體、有毒氣體等。


設(shè)備特點(diǎn)：

高處理效率

PLC操作簡(jiǎn)便

安全連鎖設(shè)計(jì)